详细介绍
G200M型平面干涉仪 :为中国首款标准镜有效口径达到200mm的平面干涉仪，改善提高了大口径光学系统和光学元件测试精度，弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试大尺寸光学系统和光学元件，不能全口径测试的不足。
主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性的测试；准直系统波前质量的测试。
仪器规格参数表
| 产品型号 | G200M | ||
| 类型 | 菲索干涉原理 | ||
| 测试口径 | ◇200mm | ||
| 标准镜材料 | 熔石英（康宁7980） | ||
| 光源 | He-Ne激光（632.8nm） | ||
| 光路切换 | 对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换 | ||
| 显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | ||
| 平面透过标准镜 | PV：优于λ/20，可定制更高精度标准镜 | ||
| 平面反射标准镜 | 标配 | ||
| 衰减过滤片 | 标配 | ||
| 仪器尺寸(长X宽X高) | 500X500X1100mm | ||
| 仪器重量 | 100KG | ||
| 电源 | AC100-240V 50/60Hz | ||
| （附注：更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制） | |||
仪器特点
| ◇ 精度高：标准镜精度高，且材料经过精密退火处理，稳定可靠； ◇ 结构灵活：立式和卧式两种结构。立式适合测量光学元件，卧式适合测试光学系统； ◇ 调整方便：通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整； ◇ 条纹真实：优良的光学设计，精密的系统装保证得到清晰、准确、真实的干涉条纹； ◇ 性能优良：仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用； ◇ 配件丰富：选配密封罩，可将测试腔与外界气流隔离，降低测试过程中气流扰动，提高判断的准确性。选配衰减过滤片，可以测量镀高反膜元件。 |