产品说明:  
※高精度、大口径平面元件检测适用范围广※特长:■适用于大口径测量■精密相移技术应用■相移软件分析系统■遥控操作、复位、变焦、对准切换※用途:■高精度平面元件的无损测量■元件面形分析、光学数据处理规格: 技术指标 参数值  最大测量口径  Φ300mm 最小测量口径 Φ120mm 测量方式 菲索干涉原理  标准参照镜面形精度(端口一) 优于λ/10(PV值) 标准参照镜面形精度(端口二) 优于λ/20(PV值) 连续变焦倍数  3倍  光源 氦氖激光器 波长   632.8nm 电源  210~230V  40~60Hz 最佳工作温度  20°C~25°C 尺寸  1200×1600×500mm  重量  约200KG