材　　料:Si(硅) 

外形公差:+0.0/-0.1mm 

厚度公差:±0.1mm 

面　　型:λ/4@632.8nm 

平行度:<1' 

光 洁 度:60-40 

有效孔径:>90% 

倒　　边:<0.2×45°

镀　　膜:Custom Design