硅反射镜是目前使用最多的反射镜，拥有良好的光学热力性。介质膜全反射镜是用Si单晶作衬底，上面镀介质材料以达到反射CO2激光的新型全反射镜。它具有反射率高、质轻、耐擦拭、抗氧化性强等优点。

反射镜常规加工要求
外型公差：       0/-0.1mm
厚度公差：       ±0.1mm
光 洁 度：       S1:40-20，S2:精磨
平 行 度：       <1′
有效孔径：       >90%
倒　　边：       <0.2×45°
镀　　膜：       高反膜