型号Model

参数Parameter

JP-700

JP-900

溅射室尺寸∕mm

Φ700×860

Φ900×1200

溅射方向

侧面溅射

溅射室类型

立式前开门方式

极限压力∕Pa

5×10^-4

抽气时间∕min

从1×10⁵Pa至2×10^-3Pa≤20

溅射工作压力∕Pa

10-10^-1

真空系统

油扩散泵系统 气动阀门

溅射靶尺寸∕mm

80×740

120×1050

溅射靶数量

1个或2个

靶电源功率∕kWS

1套DC10

1套DC25

工作旋转∕r•min^-1

3-12

工件盘直径∕mm

-

-

烘烤温度∕

室温至300 可调

工艺气体控制方式

一套质量流量控制器，一套自动压强仪

冷却水流量∕L•min^-1

20

25

水压∕kPa

2.5×10⁵

进水温度∕℃

≤25

压缩空气∕kPa

（5-8）×10⁵

用电功率∕kW

25

60

占地面积∕mm

宽×深×高

2000×2500×2100

2500×3000×2300