技术参数Parameter

真空室尺寸

Vacuum chamber size

主真空室尺寸：Server chamber

Φ760×270mm

工作真空室尺寸：

Workstation chamber

PECVD室

250×250×300mm

VHFCVD室

510×250×300mm

HWCVD室

550×250×300mm

进出片室尺寸;Loading chamber

250×286×300mm

主真空室工位数：

Server position of server chamber

6

工作真空室数：

Number of Workstation chamber

5

真空系统

Vacuum system

传输室：Server chamber

F150+D30C

工作真空室：

Workstation chamber

F100+D30C

进出片室：Loading chamber

D30C

极限压力

Ultimate pressure

传输室：Server chamber

5×10-4Pa

工作真空室：

Workstation chamber

5×10-5Pa

进出片室：Loading chamber

5×10-1Pa

工件尺寸

Substrate size

工件最大尺寸：

Maximum diameter

100×100mm

工件最大重量：Maximum weight

2kg

最大同时处理数量：

Maximum loading capacity

4

操作

Operation

全自动+计算机流程控制

Fully automatic computer control

PLC控制

PLC control

气路控制系统

Gas system

全套进口件气路 16路进口流量计  进口变通导阀门

9路气体（N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2）

Imported gas path,16-ways imported MFC,imported alterable valve 9 routes

(N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2 )