镀膜室尺寸：（长×直径）2250mm（不含门）×Φ1400mm

极限压力：≤5×10-4Pa

抽气及充气过程中主副室压差：≤100Pa

真空系统：a）KT-600凸腔扩散泵（氟利昂冷阱）；

b）RTO，300S罗茨泵；

c）2X-70A真空泵；

d）TRP-48真空泵。

轰击：射频轰击，功率1kW 两组

蒸发源：水冷式电阻热蒸发，功率5kW，12组同时蒸发

工件架：平面夹具，两套

总功率：~100kW 三相四线制 380VAC  50Hz