主要技术指标
型号
SK0503-400
SK0503-500
SK0503-600
行程
400
500
600
L
659
759
859
L1
230
280
330
台面尺寸
186x170
中心承载
50kg
单向重复定位精度Sj
≤5μm
直线度
≤30μm
最大速度
100/sec
分辨率
1μm
回程间隙
偏摆
1'3"
俯仰
2'11"
