主要技术指标

型号

SK0102-50

SK0102-100

SK0102-150

SK0102-200

SK0102-300

SK0102-400

行程

50

100

150

200

300

400

L

347

397

437

487

597

697

L1

66

91

121

136

191

241

台面尺寸

141x141

中心承载

50kg

单向重复定位精度Sj

≤1μm(1-3um)

定位精度

≤10μm

最大速度

100/sec（伺服）10mm/sec（步进）

偏摆

1'31"

1'31"

1'31"

1'31"

1'31"

1'31"

俯仰

2'39"

2'39"

2'39"

2'39"

2'39"

2'39"