型号

MRS101

MRS102

MRS103

MRS104

MRS105

台面直径（mm）

60

100

200

300

400

传动比

90：1

180：1

180：1

270：1

720：1

分辨率

0.0003°

0.0002°

0.0002°

0.0001°

0.000039°

重复定位精度

＜0.01°

＜0.005°

＜0.004°

＜0.0035°

＜0.003°

最大速度

50°/s

25°/s

25°/s

12.5°/s

6°/s

步进电机（1.8°）

42步进电机

56步进电机

最大静转矩（Ncm）

40

40

80

80

80

最大中心负载（kg）

30

50

60

70

80

自重（kg）

0.9

1.8

7.2

13.5

37.5

备注

应用真空环境中，需单独订货