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应用:

技术指标:


项目

技术指标

光谱范围

240nm-930nm(绒面测量时为350-850nm)

单次测量时间

10s,取决于测量模式

膜厚测量重复性(1)

0.05nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)

折射率精度(1)

1x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)

入射角度

40°-90°自动调节

光学结构

PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度)

样品台尺寸

一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品

兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品

样品方位调整

Z轴高度调节:±6.5mm

二维俯仰调节:±4°

样品对准:光学自准直显微和望远对准系统

软件

多语言界面切换

太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用

安全的权限管理模式(管理员、操作员)

•方便的材料数据库以及多种色散模型库

•丰富的模型数据库


注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

可选配件: