这一系列防震平台有着独到的设计,紧凑的外形、很好的扩展性;是理想、大负载隔振的具体体现。

主要特征:

标准高度,185mm;
大负载能力,标准最大负载13 吨;
针对台面上移动的负载特殊设计;
能在洁净空间中使用;
多用途的系统;

主要应用:

半导体、液晶制造或检测领域
例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测仪器等
大型专用设备领域
例如:大型扫描电子显微镜,透射电子显微镜,金属扎机,大型冲压设备等
航空、航天、航海等特殊领域
 

 
AP系列规格(AP Series specificaiton)
参数AP-80AP-100AP-120AP-140AP-160固有频率2.5-3.0Hz隔振方式空气弹簧阻尼方式可调阻尼孔桌面水平方式自动保持桌面水平,重复位置精度±200um负载(Kg)560880120017002200尺寸(mm)170*170*185180*180*185200*200*185210*210*185240*240*185螺孔间距(mm)150*150160*160176*176186*186210*210螺孔直径(mm)1010101013重量(Kg)1820252930供给气压0.35-0.70MPa
 
参数AP-180AP-200AP-230AP-270AP-330AP-380固有频率2.5-3.0Hz隔振方式空气弹簧阻尼方式可调阻尼孔桌面水平方式自动保持桌面水平,重复位置精度±200um负载(Kg)2800360046006400960013000尺寸(mm)250*250*185260*260*185300*300*185380*380*185410*410*185430*430*185螺孔间距(mm)230*230230*230270*270290*290340*340400*400螺孔直径(mm)131313131313重量(Kg)32.53545557090供给气压0.35-0.70MPa