主要特征材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性,能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用导轨部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用润滑油,避免污染真空环境,影响真空度适用最高真空度10-5Pa的环境
应用电子、半导体制造装置(EB装置等)新一代半导体设备的研究开发其他纳米科技研究
真空用电控滑台规格