主要特征
材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性，能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。
Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用
导轨部件使用Si3N4材料制成，具有很好的平滑性能，可以省去使用润滑油，避免了污染真空环境，影响真空度
适用最高真空度10－5Pa的环境

应用
电子、半导体制造装置（EB装置等）
新一代半导体设备的研究开发
其他纳米科技研究

线性马达规格