• ６轴方向微调精密平台。

  • XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄轴承钢制平台，θ轴粗微调转动平台，小型αβ轴摆动平台，与αβ轴摆动平台组成。

  • 型号末尾为SC的平台的XY轴平台的测微头在中间，末尾为ES的平台的XY轴平台的测微头在侧面。

 
型号 TSD-40EC TSD-40ES TSD-60EC TSD-60ES
台面尺寸 (mm) 40 x 40 40 x 40 60 x 60 60 x 60
行程   (mm) XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 3 		XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 3 		XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 5 		XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 5
  (°) 粗调 : 360
微调 : ± 5 		粗调 : 360
微调 : ± 5 		粗调 : 360
微调 : ± 5 		粗调 : 360
微调 : ± 5
摆动角度范围 (°) α轴 ± 15
β轴 ± 20 		α轴 ± 15
β轴 ± 20 		α轴 ± 10
β轴 ± 15 		α轴 ± 10
β轴 ± 15
摆动中心高度 (mm) 35 35 84 84
最大承载能力 Fz′ (N) 49.0(5.0kgf) 49.0(5.0kgf) 98.1(10.0kgf) 98.1(10.0kgf)
自重 (kg) 1.23 1.23 4.95 4.95





主要材料 : 轴承钢, 黄铜
表面处理 : 黑铬
1N ≈ 0.102kgf

型号 XY轴 Z轴 θ轴 调节台 αβ轴
TSD-40EC TSD-402C TSD-403 KSP-406M SP-123 GOH-40B35
TSD-40ES TSD-402S TSD-403 KSP-406M SP-123 GOH-40B35
TSD-60EC TSD-602C TSD-603 KSPB-906M - GOH-60B84
TSD-60ES TSD-602S TSD-603 KSPB-906M - GOH-60B84

部件品