高精密的压电式调整台
粘滑运动设计
控制精准
压电式定位调整台采用压电驱动的电机,在需要精确定位的场合中可实现亚微米级别的分辨率行程。除了内置编码器以维持可重复性,压电式定位调整台还采用了粘滑运动设计,能够完全扩展压电元件,在没有牺牲精确度或整体行程范围的情况下,使该调整台沿其行程的轴移动。线性定位调整台的移动速度可达每秒2mm,整个行程长度超过51mm。该旋转台利用两个预装的钢球轴承,每秒可转动6°以上,无限行程,且具有高阻滞力。
尺寸 (mm) | 145 x 85 x 25 |
软件 | Windows GUI, LabVIEW VI |
分辨率 (nm) | max: 1 nm (open loop), 2 nm (closed loop) |
速度 (mm/s) | 2 |
注意 |
Interface: USB 2.0, RS-485 Commands: ASCll |
电源 | Regulated 5 V DC (1 A per axis) |
RoHS | 符合标准 |