适合非接触光学压型
可选Michelson 和 Mirau 镜头
200mm镜筒远场校正设计
干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上,通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度,测量精度非常高,在一个波长之内。一束光通过分光镜,可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合,就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来,Michelson镜头拥有更长的工作距离,更宽的视场和更大的焦深。Mirau镜头用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon 200mm镜筒(#58-520)的话可将镜头直接装配到C接口相机上。
类型 | Mirau |
放大率 | 10X |
数字孔径 NA | 0.30 |
工作距离 (mm) | 7.4 |
焦距 FL (mm) | 20.0 |
分辨能力 (μm) | 0.92 |
焦深(μm) | 3.04 |
视场,25直径视场目镜 (mm) | 2.5 |
视场,20直径视场目镜 (mm) | 2 |
视场, 2/3" 传感器 | 0.88 x 0.66mm |
视场, 1/2" 传感器 | 0.64 x 0.48mm |
支架 | C-Mount |
安装螺纹 | RMS |
重量 (g) | 125 |
生产商 | Nikon |
RoHS | 符合标准 |