压电纳米偏摆台P52系列 纳米级超精密偏摆扫描台专业制造商-辽宁研生

Z向纳米级精密扫描台║P52系列：超大行程；超薄外形尺寸，超大中空尺寸。

产品特点：

◆ 超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

◆ 超大行程达500µm；

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

扫描显微镜 •　掩膜/晶圆定位　•　计量学　•　半导体测试　•　干涉测量　•　纳米定位　•　生物技术　•　微操作

配套压电控制器 模块化控制器E5系列

辽宁研生科技有限公司是压电纳米定位超精密位移台的专业制造商-高性价比

研生公司的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。