500μm压电显微镜扫描台P28系列 纳米级超精密显微镜扫描平台专业制造商-辽宁研生科技有限公司

Z向纳米级显微扫描台║P28系列：行程500µm；超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸。

产品特点：

◆ 超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

◆ 行程为500µm；

◆ 采用无摩擦、无回差的柔性铰链导向系统，具有超高的导向精度；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

显微扫描、跟踪 •　三维成像　•　高分辨率显微镜　•　共聚焦显微镜　•　生物技术　•　纳米定位　•　干涉　•　计量

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研生公司的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。