并联式3至6维压电纳米定位平台P6系列 纳米级超精密位移台专业制造商-辽宁研生

三至六维纳米级精密定位系统║P66/P68系列：3至6维超大行程；超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸。

产品特点：

◆ 外形尺寸：超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

◆ 3至6维超大行程；

◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统，具有超高的导向精度；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

扫描显微镜（SPM）　•　干涉　•　计量　•　掩模/晶圆定位　•　度量衡学　•　生物技术　•　显微光学　•　激光技术　•　微操作

配套压电控制器 模块化控制器E5系列

辽宁研生科技有限公司是压电纳米定位超精密位移台的专业制造商-高性价比

研生公司的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。