一、产品简介
晶正科技可通过晶片减薄工艺和CMP抛光工艺,对铌酸锂、钽酸锂、硅、石英等晶圆片进行表面精细处理,将其加工成为超平晶片和超薄晶片,可满足用户对于超平硅片、超平石英片、超薄铌酸锂、超薄钽酸锂等特殊晶片的需求。
二、技术参数
超平晶片
Material | Size | Thickness | TTV |
LN, LT, Quartz, Silicon | 3/4/6 inch Quartz: 3/4 inch | 200~1000μm | 1μm |
三、
3inch, 4inch, 6inch
厚度:≥20um
切向:X cut,Y cut,Z cut
四、应用
具体应用如下:
· 滤波器
· 电光调制器
· 探测器
· 光波导
· 传感器
· 压电换能器
· 太赫兹波生成
· 超高速光开关
· 高密度数据存储
· 相控阵雷达
· 电光棱镜扫描仪
· 光纤陀螺仪
· 高功率微波器件
· 旁路电容