炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质，双层断热式结构设计；

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好；

带有预加热炉，炉体可以通过导轨滑动来达到快速升温和快速降温的效果；

加热炉和预加热均可开启，可以实时观察加热的物料。

电源

电压：AC220V 50/60HZ；加热功率：7.2KW

炉管

高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小；尺寸：Φ60*1600mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰，通过用耐高温“O”形圈挤压密封可获得高真空；

一个卡箍就能完成法兰的连接，取放物料方便快捷；

可调节的法兰支撑，方便调节炉管的水平；

包含进气、出气、真空抽口、针阀、KF卡箍组合。

加热系统

加热元件采用优质合金丝，表面负荷高，经久耐用；

加热区长度：350mm/350mm，中间无温度梯度； 恒温区长度：150/150mm；

预加热区长度：150mm；

工作温度：≤1150℃（预加热区温度：≤600℃）；

最高温度：1200℃；

升温速度：推荐≤10℃/min，最快升温速度：30℃/min

温控系统

日本富士仪表，64段控温程序，可分步分段，控温精度±1℃

控温元件：N型热电偶

具有超温、断偶故障警报及断电保护措施

混气系统

两路质量流量计，数字显示，气体流量精确控制

内置耐压不锈钢混气罐，每路气体管路均配有逆止阀

管路采用316不锈钢管，接口均为Φ6卡套

每路气体进气管路配有316不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮即可调节气体流量

流量范围：0～200sccm

流量精度：±1.5%

真空系统

采用双极旋片真空泵，真空度可达10Pa以下