Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。波长范围从170nm到2100nm以上。无电极的LDLS技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，并且延长了灯的使用寿命。