1x12,288线阵相位型液晶调制器是光束偏转与印刷系统的理想器件。这一器件运用了基于CMOS技术的标准液晶技术。基于CMOS结构的阵列为实现最先进的高分辨率光刻技术提供了有效的工具，由于其像素更小，从而能够为光束偏转应用提供更大的偏转角度。此外，COMS芯片上的电路大大简化了寻址，随机存取转向，任意波前控制等过程。  基于CMOS阵列的另一优点是其在半导体制造中已经实现...