ZYGO大口径激光干涉仪系统是双通道测量系统，小口径4测量通道和大口径测量通道均具有多种高精度测量模式，如相位调制、波长调制、动态测量等。大口径激光干涉仪从常规的4英寸口径拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口径激光干涉仪包括

• 激光干涉仪主机(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波长调制主机)

• MUX分光器（光束转换器）

• 扩束器（12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可选）

• 机械相位测量装置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波长调制测量技术

• 参考光束-透射平板和参考平板是光学系统必需的附件

• 调整架-用于调整参考光束和测试光束的位置