压电平台XY200M沿X，Y和Z轴的行程为200
μm，最高可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜，掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度。平台可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。
这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式。
参数 | 单位 | XYZ200M |
型号 | V-XYZM200 | |
备注 | - | |
传感器 | SG,ECS | |
主动轴 | TX,TY,TZ | |
最大空载位移[Tx,Ty] | um | 180 |
Z方向最大面外位移 | um | 200 |
Z方向的最大转动 | urad | 240 |
XY方向的最大转动 | urad | 50 |
电压范围 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 0.66 |
高度(Z 轴) | mm | 44.0 |
尺寸(X&Y 轴) | mm | 100*100 |
分辨率 | nm | 1.8 |
质量 | g | 540 |
空载共振频率(在致动方向) | Hz | 380 |
响应时间 | ms | 1.32 |
电容(每个电气接口) | uF | 6.30 |
机械接口(有效负载) | 物镜接口最大4/55 *1.36(指定) | |
机械接口(框架) | 4 Ф4.5mm 孔 []84 | |
电气接口 | 3 RG178B/U 同轴电缆 |