双倾斜平移台采用了2对APA35XS，可以产生3种类型的运动：
♦当两对APA35XS同步致动时，Z轴运动（平移）可达35
μm
♦ 当两个致动器以相反的相位致动时，ΘX 和/或 ΘY 运动（倾斜）可达+/- 2
mrad
双倾斜平移台基于致动器设计，配备应变计以消除回程差。为了获得三维运动，需要4通道的驱动器。如果只要求两个倾斜运动，则只需要两个通道即可。（可使用75系列驱动器的推拉模式）
参数 | 单位 | DTT35XS |
型号 | V- DTTXS35 | |
备注 | 初步数据 | |
传感器 | SG | |
主动轴 | RX,RY,TZ | |
最大空载位移[Tz] | um | 35.0 |
最大角位移 | mrad(+/-) | 2.00 |
出平面位移[Tx, Ty] | um | 10.0 |
电压范围 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 2.0 |
高度(Z 轴) | mm | 22.0 |
直径 | mm | 38.1 |
纵向分辨率[Tz] | nm | 0.4 |
角度分辨率[Rx,Ry] | urad | 0.02 |
质量 | g | 35 |
空载共振频率（在致动方向） | Hz | 3200 |
响应时间 | ms | 0.16 |
电容(每个电气接口) | uF | 0.50 |
机械接口(有效载荷) | 平坦表面Ф15mm | |
机械接口(框架) | 圆柱形 Ф38.1mm | |
电气接口 | PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long and shield with sub D15 connector |