步进压电致动器(SPA)是一种新型的长行程线性压电电机，可用于微/纳米定位等应用。其实这些应用在使用传统的APA器件时，效果也非常理想。
SPA的长行程是通过电机逐步叠加实现的，在每步之间致动器的位置被锁定。当执行长行程时，它也可以在形变模式下操作，用于微调。在这种情况下，行程正比于施加的电压，由此可以得到纳米级的分辨率和较高的带宽。这些致动器可与CEDRAT标准线性放大器CA45、LA75配套使用。
参数 | 单位 | SPA35XS | SPA60SM |
型号 | V-SPAXS35 | V-SPASM60 | |
备注 | 初步数据 | 初步数据 | |
传感器 | MAG | MAG | |
基于 | APA35XS | APA60SM | |
长行程(M1) | mm | 10.0 | 20.0 |
硬度1(M1) | N/um | 88 | 88 |
硬度2(M1) | N/um | 0.49 | 1.38 |
最大速度(M1) | mm/s | 30 | 30 |
未工作时的阻滞力(M1.M2) | N | 3 | 15 |
最大致动力(M1) | N | 1 | 5 |
高分辨率短行程(M2) | um | 55 | 80 |
分辨率(M2) | nm | 0.55 | 0.8 |
带宽(M2)** | Hz | 550 | 600 |
电容 (M1,M2) | uF | 0.25 | 1.55 |
沿主动轴的高度 | mm | 30 | 50 |
底座尺寸 | mm | 16*16 | 27*27 |
惯性质量 | g | 30 | 70 |
质量 | g | 50 | 120 |
最大电流消耗 | mA | 117 | 388 |
最大输入功率 | W | 11.25 | 37.1 |
保持消耗 | W | 0 | 0 |
电气接口 | 1 RG178B/U同轴电缆 | 1 RG178B/U 同轴电缆 | |
LA75 兼容性 | A*-B-C | B-C | |
CA45 兼容性 | 是 | 否 |