步进压电平台SPS35XS是基于步进压电致动器（SPA）的原理设计。它可以提供：
♦更长的行程
♦微/纳米分辨率的定位
它可以通过LA75系列的单通道线性放大器驱动。这种平台可以运行超过10e6个周期，这是由于它采用了先前广受好评的摩擦面设计。该步进压电平台可以应用于微定位和阀门等领域中。其他指标的步进压电平台可以通过使用更小或更大的APA®致动器改造而成。
参数 | 单位 | SPS35XS |
型号 | V- SPSXS35 | |
备注 | Preliminary data | |
传感器 | MAG | |
主动轴 | TX | |
最大空载位移[Tx] | mm | 5 |
Z方向的最大面外位移 | um | 10 |
Z方向的最大转动 | urad | 0 |
XY方向的最大转动 | urad | 5 |
电压范围 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 0.5 |
高度(Z 轴) | mm | 15 |
尺寸(X & Y 轴) | mm | 30*30 |
分辨率 | nm | 35.0 |
质量 | g | 20 |
空载共振频率(在致动方向) | Hz | 200 |
响应时间 | ms | 2.50 |
电容 (每个电气接口) | uF | 0.25 |
使用寿命（周期） | 1.E+06 | |
机械接口(有效负载) | 4M1.6螺纹孔[]17*27 | |
机械接口(框架) | 4M1.6螺纹孔[]17*22 | |
电气接口 | 1RG 178B/U 同轴电缆 |