德国TEM公司研发的4D PSD位置敏感探测器,采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。
PSD 4D i: PSD位敏探测器(工业级)
Ø 4维测量: 位置 X,Y 和角度 X,Y
Ø 连续光和脉冲激光器
(检验光束功率,连续光: 100 μW-10 mW,脉冲:>10 nJ)
Ø 高精确度: < 1 μm,< 1 μrad
PSD 4D e: PSD位敏探测器(实验级)
Ø 类似 PSD 4D i,但是离散元件PSD4D i
Ø 易于适应实验装置和更高的精确度: < 10 nm,< 10 nrad
PSD 2D: 2DPSD位敏探测器(连续光或脉冲)
Ø 独立使用,或组合成4维PSD使用
Ø 标准波长: 380nm-1100nm
Ø 定制波长: 180 nm-2600 nm
PSD紫外增强型晶片组
Ø 升级 PSD 4D 到紫外/极紫外
Ø PSD晶片组直径 4mm, 10mm