uKSA系列超高精密电动平移台，按照行程分为50、100、150、200mm 等四款产品，是卓立汉光开发的新型电移台，该系列电移台技术指标达到国际水平。如：闭环分辨率0.1μm，每100mm 行程，直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器，定位于超高精度要求的领域应用，如：超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。

uKSA系列超高精密电动平移台特点：

1.加厚铝合金底座，基准面精密磨削，保证整体性能稳定

2.内置进口超高精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm

3.采用进口超高等级滚珠丝杠，可实现超高定位精度

4.采用进口超高等级交叉滚柱导轨，具有超高运动性能

5.标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音

uKSA系列超高精密电动平移台选型表