拉伸间距

mm

200/400/600

火头扫描宽度

mm

±50~100

单边拉伸速度

mm/s

0~1000

夹具运动精度

mm

0.8

火头左右运动精度

mm/step

0.02

封装台运动精度

mm/step

0.02

氢气流量范围

sccm

0~10000

氧气流量范围

sccm

0~1000

拉伸模式

-

单边/反向/同向拉锥

扫描模式

-

固定/跟踪扫描

探测器类型

-

InGaAs 

波长范围

nm

800~1700

光功率探测动态范围

dBm

-60~+3

光功率测量分辨率

dB

0.01

工作环境

-

温度：23±2℃ / 湿度：50~60%RH

外形尺寸（L´W´H）

mm

800´550´250

供电电源

-

AC100~240V/50~60Hz/5A