S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本，采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器，且不标配气浮平台

一、仪器规格参数

S5U-PH与G5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。其中S5U-PH为低成本版本，采用半导体激光器替代昂贵的进口He-Ne激光器，且不标配气浮平台。

仪器规格参数表

硬件部分：

产品型号

S5U-PH

产品名称

5mm正立式激光干涉仪

测试口径

Φ5mm

辅助对准口径

Φ30mm

标准镜面形精度

λ/20

光源

进口半导体激光器（635nm)

光路切换

辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换

电源

AC220V50HZ

软件部分：

软件名称

移相算法（简称PH）

分析项目

透过波前PV值、平行度Tilt值等

测试重复性

PV：0.01λ   RMS:0.003λ

测试允许误差

PV<1λ时    PV：0.05λ   Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹）

1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ   Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹）

测试时间

1.5~2秒