HB-LED epitaxial inspection for R&D and production
布鲁克的LumiMap是电致发光测量系统，在一个简单直观的测试环境集成了所有的EPI谱学和电学测试功能，并提供即时数据，而无需任何晶片的前期处理和样品制备。LumiMap系统利用无损接触式探针，允许控制电流流过晶片，激发EPI的有源层，使其发光，快速准确地收集正向电压、反向电流、强度和波长等数据。
这种无损测试方法省去了铟点，酸清洁，处理晶片流程，快速精确的收集2-6寸晶片的反向IV特性、光谱强度、波长、 Vf等谱学和电学性能指标。
n 快速准确收集正向、反向IV特性，重复性高
n 获取电流激发光谱强度、波长、光谱宽度等谱学信息
n 利用专利的探针设计和边缘接触技术，获取精准、重复性高的Vf信息
n 利用先进的IV测试模型，获取器件整体性能指标
n 只需几分钟即可获取关键测试数据， 大大缩短检测时间
n 无需任何晶片的前期处理和样品制备， 立即获取MOCVD 过程生产质量
n 数秒时间完成无损、多点检测
n 在一个简单直观的测试环境集成了所有的EPI谱学和电学测试功能，并提供即时数据，而无需任何晶片的前期处理和样品制备
n 严格检测、控制波长、Vf 等谱学和电学性能指标，从而提高晶片产量，减少废料和改善使用时间，大大降低生产成本
n 提供直观简便的检测软件，帮助用户在外延片生产过程中 自定义多点晶片检测，最简便快捷地完成晶片质量控制工作
n 利用无损接触式探针，允许控制电流流过晶片，激发EPI的有源层，使其发光，完成各项检测