探针式轮廓仪

业界领先的探针式表面轮廓仪

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布鲁克探针式表面轮廓仪历今四十载,积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。在教育、科研领域和半导体制程控制,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近年来,在迅速成长的新能源领域(太阳能行业,LED行业),触摸屏行业,Dektak以其优异性能被多数主要的工厂采用,作为工艺控制的必要手段。

















探针式轮廓仪新标杆

The Dektak XT™ stylus profiler features a revolutionary design that enables unmatched repeatability of four angstroms (4Å) and up to 40% improved scanning speeds.

 

布鲁克DektakXTTM探针轮廓仪通过革新设计单拱龙门式设计使系统更稳定与此同时实现测量重复性达到5埃以下(<5Å)的业内最高水平。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界领先地位长达四十年的优异表面测量技术。保持业界一贯的领先优势,首次采用的高清真彩相机提高了图像分辨率,而64位数据并行处理软件则加速了分析速度,使用户易于使用。














 

过去四十多年间,布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪,首台实现微米测量的台阶仪,首台可以达到3D测量的仪器,首台个人电脑控制的轮廓仪,首台全自动300mm台阶仪——DektakXT延续了这种开创性的风格,全新的DektakXT成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计,配备全彩HD摄像机,并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。

Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer.

 










 

 

DektakXT仪器特性

无与伦比的性能和优于4埃(<4 Å)的测量重复性

高效率且易于使用

探针式轮廓仪的全球领导者