1.性能参数

注：有限远共轭

2.外形尺寸

3.成像质量测试报告

4.检测结果

4.1焦距测量

焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm，实测焦距为5.3mm

4.3 透过率测量

  陪镀片的剩余反射率曲线

• 利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；

• 结果：内透过率：99.6%；零件透过率：98.4%；单面透过率：99.485%

• 整体透过率为94%（193nm处）。

4.2像质检测

a)    显微物镜对目标（小孔）所成的像 
              

  b)能量集中度曲线


c) 点扩散函数