Title

Dimetior VB—同步相移菲索干涉仪

应用领域

测量平面，凸面和凹面的面型

长光程长度和远程斐索腔测量
真空、低温室测量

    光学，机械加工和晶圆表面的在在线测量
    热力学事件和旋转盘的动态测量
    双折射效应的表征及退除

主要特征：
使用相移模式实现准动态模式测量，4英寸USB接口干涉仪，更有40mm\60mm口径可选。

结构类型：
 立式和卧式，任意测试方向
 静态或相移
 曲率半径

Dimetior VB 指标参数：
系统
测试光束	102mm(4.0″)
变焦	1X 到 4X
焦距	+/- 4.0m
衰减	软件控制
对准方式	两点对准
对准视场	+/- 1.5 degrees
表现(1)
重复性 3-Flat(2)	l/300 PV
RMS 重复性(3)	£1 Å
校准精度	l/100 PV
未校准精度	l/70 PV
高度分辨率	l/8000
空间分辨率	1000 X 1000
数字化	10bits
处理时间	15 Frames/s
曝光时间	最小10ms
平均方法	光强和位相
激光器
波长	633nm (其他波长可选)
偏振	线偏
相干性	³100m
供电	110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts
机械
外形尺寸	489 mm x 330 mm x 325 mm (19.3″ x 13″ x 12.8″)
重量	27 kg (60 lb)
工作环境(4)
温度	15 to 30°C (59 to 86°F)
温度变化率	<1.0°C per 15 min
湿度	Relative 5% to 95%
隔震要求	不需要隔振
(1)温度范围20-23°C，温度变化率<1°C/15分钟 (2)3-Flat测量采用每组32个进行平均得出3 sigma的重复性； (3)3 sigma的rms采用128组数据，每组32个进行平均； (4)这些参数表明系统可以工作在当前环境中，但并不表示环境稳定性需要满足这些要求。