Intellium Z100—高精度多功能干涉仪 高精度测量能力与无与伦比的灵活性和多功能性
| 应用领域： 平面、凹面、凸面的面形检测； 棱柱、角锥、楔角、均匀性检测； 光加工、陶瓷、晶片/碟片的表面外貌； 光学系统与元件的波前分析； OEM 系统集成。 主要特征和优势： 采用IntelliPhase 空域载频分析技术实现准动态测量 USB 连接主机和电脑，即插即用（Z100u） 1K×1K 空间分辨率（Z100u） 1×-6x 变焦，焦距和光强可调 紧凑坚固的结构设计、重量轻 曝光时间可调 提供150mm、200mm、300mm 口径 兼容行业标准的4 英寸参考光学件和附件 性价比极高 可水平、垂直向上和垂直向下配置 选配工作台可进行平面和长短轴曲率半径的检测 |  |
Intellium TM Z100 指标参数： | |
技术 | 静态 IntelliPhase TM 与PZT相移 |
系统 | |
测试光束 | 102mm(4.0″) |
变焦 | 1X 到 6X |
焦距 | +/- 2.0m |
衰减 | 可调 |
对准方式 | 两点对准 |
对准视场 | +/- 1.5 degrees |
表现(1) | |
重复性 3-Flat(2) | l/300 PV |
RMS 重复性(3) | £1 Å |
校准精度 | l/100 PV |
未校准精度 | l/70 PV |
高分辨率 | l/8000 |
空间分辨率 | 640 X 800 |
数字化 | 8bits |
处理时间 | 300ms |
平均方法 | 光强和位相 |
激光器 | |
波长 | 632.8nm SLM HeNe (其他选项可选) |
偏振 | 圆偏 |
相干性 | ³100m |
供电 | 110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts |
机械 | |
外形尺寸 | 338 mm x 190 mm x 254 mm 13.5” x 7.5” x 10” |
重量 | 14 kg (31 lb) |
工作环境(4) | |
温度 | 15 to 30°C (59 to 86°F) |
温度变化率 | <1.0°C per 15 min |
湿度 | Relative 5% to 95% |
隔震要求 | 需要对1 Hz to 120 Hz频率进行隔震 |
(1)无振动环境，温度范围20-23°C，温度变化率<1°C/15分钟，无热源； (2)3-Flat测量采用每组32个进行平均得出3 sigma的重复性； (3)3 sigma的rms采用128组数据，每组32个进行平均； (4)这些参数表明系统可以工作在当前环境中，但并不表示环境稳定性需要满足这些要求。 | |
可选配件 | | ||||||
TS | TF | ||||||
F/# | 0.75 | 1.5 | 3.3 | 7 | 11 | - | |
直径(mm) | 130 | 126 | |||||
高度(mm) | 93 | 88 | 70 | 92.5 | 97 | 30 | |
重量(kg) | 3 | 2.9 | 2.1 | 2 | 2 | 0.7 | |
TS半径 | 47 | 120 | 299 | 665 | 1050 | ||
精度 | £l/10 | £l/20 | |||||
