可根据客户需求,提供振动、形变、微小位移等物理量非接触式测量的系统解决方案,提供定制化产品。

Ø主要指标

ü测量分辨率:5nm 

ü数据更新率:2kHz 

ü测对象:任意物体表面

ü工作距:40mm/75mm/100mm可选  

Ø主要应用 

ü振动 

ü微小位移 

ü形变 

Ø特点 

ü无需在被测物体表面粘接角锥镜或平面镜,实现真正的非接触测量