满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；

    以光刻机用激光干涉测量系统为基础，

    在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时，

    将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里，

    一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验；

    典型频差6±1MHz，测速高达2m/s。

 系统组成：
     LH2000激光测头及附件
     环境补偿单元
     LaserLC测量软件
     测量镜组（选配：位置度测量镜组、直线度测量镜组、角度测量镜组等）
     光学调整附件
     三脚架及其他测量附件