产品简述：
       系统采用共焦式溅射或公自转结构可选择，工件尺寸4-6英寸。可以配置4个3英寸圆形溅射阴极，或者4个直径2英寸圆形溅射靶枪；具有选择配备离子源清洗功能。可以实现直流溅射、中频溅射、射频反应溅射，共溅射。可以配置自动进样室，选配射频偏压预清洗、工件加热功能，功能全面，使用灵活，适合用于研发及小批量生产要求。
设备特点：
★一体化设计精细布局，更节省的空间和更精致的外形；
★合理的进气设计、靶的角度高度可调以保证更优的均匀性。
技术指标：

名称PD-500磁控溅射镀膜机
真空室方形真空室，304不锈钢制造，内部电抛光，立式前开门，带一个4英寸观察窗。
自动进样室（可选项）自动传送4-6英寸工件盘
高真空泵1600L/S分子泵+机械泵，极限真空优于5E-5Pa，从大气抽到5E-4Pa时间少于30分钟。
溅射靶四个直径3英寸圆形靶枪，溅射4英寸工件，4英寸均匀性优于+/-4%。
靶枪均为角度可调型，倾斜角度0-40度可调。
电源1KW直流电源，功率控制，最高输出电压800V，2英寸靶枪最大直流功率350W，3英寸靶枪最大直流功率700W。
500W射频电源，功率控制，2英寸靶枪最大射频功率200W，3英寸靶枪最大射频功率350W，电源自动匹配。
配置自动切换器，一个电源可以切换支持多个靶枪工件。
进气控制流量计流量可选，可以配置多路进气。
加热控制铠装加热丝加热，加热最高600度。
工件台普通工件台、加热工件台、水冷工件台、射频偏压工件台，多种功能组合工件台可选择。
控制系统PLC+触摸屏全自动控制