数
1. 储能高
2. 激发截面大
3. 荧光寿命长
4. 非线性系数低
5. 损伤阈值高
高功率激光系统
超短脉冲激光器
波导放大器
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坩埚钳
玻璃熔炼炉
1000级无尘车间
双面抛光设备
AFM
干涉仪
①先进的CMP工艺, Ra<0.4nm
②表面质量: >10/5
③平整度: <λ/8@632 nm
数 
