DS616--精密划片机Precision Dicing Saw
升级配置,提升设备性能DS616精密划片机软件部分采用DS-200控制系统,搭配触摸屏操控方式,图像对准简单方便,操作更便利;硬件部分配备大功率主轴,DD马达驱动,精度更高,进一步提升了切割性能。 特点: 主轴气压、水压、电流时时监测,减少主轴损伤 切割范围均可根据客户需求进行适当调整,提高生产效率 可做160mm×160mm方形盘的增强功能 可选配图像自动识别功能 可选配NCS(非接触测高)功能 设备结构合理,方便维护保养,减少故障率 自动化程度高 可精密切割材料: 硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石、晶体、PCB板 应用领域:二极管、三极管、MEMS、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、闪烁晶体 机器安全保护:含低气压、低水压、工作台伺服、转台伺服、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警以及开舱门停机报警功能。
DS616技术参数
配置与性能 | 加工尺寸 | φ6″或≤160mm×160mm |
切槽深度 | ≤4mm或 定制 | |
工作台平整度 | ±0.005mm/150mm | |
对准系统 | 70x直光+环光 (210x选配) | |
主轴 | 转速范围 | 3000~40000rpm |
输出功率 | 1.5kW | |
X轴 | 驱动方式 | 伺服电机 |
工作台左右行程 | 240mm | |
行程分辨率 | 0.001mm | |
速度设定范围 | 0.1~400mm/s | |
Y轴 | 驱动方式 | 步进电机+光栅闭环控制系统 |
主轴前后行程 | 170mm | |
行程分辨率 | 0.0005mm | |
单步定位精度 | ≤0.003mm/5mm | |
全程定位精度 | ≤0.005mm/170mm | |
Z轴 | 驱动方式 | 步进电机 |
主轴上下行程 | 30mm | |
行程分辨率 | 0.001mm | |
重复定位精度 | 0.002mm | |
θ轴 | 驱动方式 | DD马达 |
转角范围 | 380° | |
转角分辨率 | 0.0002° | |
基础规格 | 电源 | 单相,AC 220V±10% |
耗电量 | 加工时 0.8kW | |
暖机时 0.7kW | ||
压缩空气 | 压力0.55~0.8Mpa;平均流量350L/min | |
切削水 | 压力0.2~0.4Mpa;流量3.0L/min | |
冷却水 | 压力0.2~0.4Mpa;流量1.5L/min | |
排风量 | 2m3/min (ANR) | |
外形尺寸W×D×H | 665mm×850mm×1650 mm | |
重量 | 500kg |
使用条件:1. 请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度<80%,无凝结。2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。