DS620--精密划片机Precision Dicing Saw
超高精度精密划片机 全高端配置,主要应用于超高精度加工领域硬件配置方面:采用大功率直流主轴,性能更优良,主轴具备自锁功能,更换刀片更方便;使用进口高精度丝杠、导轨,运动精度更高;θ轴采用DD马达驱动,精度高,速度快。 软件方面:采用DS-300软件控制系统,搭配触摸屏,GUI交互界面,操作方便;新增图像识别功能,可实现自动对准切割,有效提高了生产效率;并具备多片工件同盘切割功能。 选配:双镜头,对准精度更高非接触测高(NCS)刀片破损检测功能(BBD)磨刀台功能自动寻边功能数据扫码录入功能 可精密切割材料:硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石、电路板 应用领域:IC、光学光电、通讯、LED、MEMS、医疗器械 机器安全保护低气压、低水流量、工作台伺服、转台驱动、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警,开舱门停机报警,漏电保护和真空不足保护功能。 DS620技术参数
配置与性能 | 加工尺寸 | φ6″或≤160mm×160mm |
切槽深度 | ≤4mm或 定制 | |
工作台平整度 | ±0.005mm/100mm | |
对准系统 | 70x直光+环光 (210x选配) | |
主轴 | 转速范围 | 10000~50000rpm |
输出功率 | 1.5kW (2.4kW选配) | |
X轴 | 驱动方式 | 伺服电机 |
工作台左右行程 | 240mm | |
行程分辨率 | 0.001mm | |
速度设定范围 | 0.1~400mm/s | |
Y轴 | 驱动方式 | 步进电机+光栅闭环控制系统 |
主轴前后行程 | 170mm | |
行程分辨率 | 0.0005mm | |
单步定位精度 | ≤0.003mm/5mm | |
全程定位精度 | ≤0.005mm/170mm | |
Z轴 | 驱动方式 | 步进电机 |
主轴上下行程 | 30mm | |
行程分辨率 | 0.001mm | |
重复定位精度 | 0.002mm | |
θ轴 | 驱动方式 | DD马达 |
转角范围 | 380° | |
转角分辨率 | 0.0005° | |
基础规格 | 电源 | 单相,AC 220V±10% |
耗电量 | 加工时 0.8kW | |
暖机时 0.7kW | ||
压缩空气 | 压力0.5~0.8Mpa;平均流量300L/min | |
切削水 | 压力0.2~0.4Mpa;流量3.0L/min | |
冷却水 | 压力0.2~0.4MPa;流量1.5L/min | |
排风量 | 2m3/min (ANR) | |
外形尺寸W×D×H | 665mmx850mmx1650mm | |
重量 | 500kg |
使用条件:
1. 请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度<80%,无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。