§ 干涉测量
§ 显微镜
§ 纳米定位
§ 生物技术
§ 测试程序和质量保证
§ 光子
§ 光纤定位
§ 半导体技术
P-620.2 – P-629.2
§ 行程为50至1800微米
§ 分辨率达0.1纳米
§ 定位精度 0.02 %
§ 带电容式传感器的直接计量
§ X、XY、Z和XYZ型
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
规格
P-620.2CD P-620.2CL | P-621.2CD P-621.2CL | P-622.2CD P-622.2CL | P-625.2CD P-625.2CL | P-628.2CD P-628.2CL | P-629.2CD P-629.2CL | 单位 | 公差 | |
主动轴 | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | ||
运动和定位 | ||||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||
- 20至120 伏时X、Y向上的开环行程 |
60 |
120 |
300 |
600 |
950 |
1800 |
微米 |
+20 % / - 0 % |
X、Y向上的闭环行程 |
50 |
100 |
250 |
500 |
800 |
1500 |
微米 | |
X、Y向上的开环分辨率 |
0.1 |
0.2 |
0.4 |
0.5 |
0.5 |
2 |
纳米 |
典型值 |
X、Y向上的闭环分辨率 |
0.2 |
0.4 |
0.7 |
1.4 |
3.5 |
3.5 |
纳米 |
典型值 |
X、Y向上的线性误差 |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
0.03 |
0.03* |
0.03** |
% |
典型值 |
X、Y向上的重复精度 |
±2 |
±2 |
±2 |
±5 |
±10 |
±14 |
纳米 |
典型值 |
螺距/偏转角 | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 / ±5 | ±20 / ±5 | ±30 / ±5 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | ||||||||
X、Y向上的刚性 | 0.22 | 0.25 | 0.2 | 0.1 | 0.05 | 0.1 | 牛/微米 | ±20 % |
X向上的空载谐振频率 |
575 |
420 |
225 |
135 |
75 |
60 |
赫兹 |
±20 % |
Y向上的空载谐振频率 |
800 |
535 |
300 |
195 |
105 |
100 |
赫兹 |
±20 % |
带50 克负载时X向上的谐振频率 |
270 |
285 |
180 |
120 |
60 |
55 |
赫兹 |
±20 % |
带50 克负载时Y向上的谐振频率 |
395 |
365 |
215 |
150 |
85 |
85 |
赫兹 |
±20 % |
带100 克负载时X向上的谐振频率 |
285 |
220 |
160 |
105 |
55 |
50 |
赫兹 |
±20 % |
带100 克负载时Y向上的谐振频率 |
300 |
285 |
175 |
125 |
75 |
80 |
赫兹 |
±20 % |
运动方向上的推/拉力 |
10 / 5 |
10 / 8 |
10 / 8 |
10 / 8 |
10 / 8 |
10 / 8 |
牛 |
最大 |
负载容量 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 牛 | 最大 |
侧力 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 牛 | 最大 |
驱动特性 |
P-620.2CD P-620.2CL | P-621.2CD P-621.2CL | P-622.2CD P-622.2CL | P-625.2CD P-625.2CL | P-628.2CD P-628.2CL | P-629.2CD P-629.2CL | 单位 | 公差 | |
压电陶瓷 |
PICMAP-883 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-887 |
PICMAP-888 | ||
X、Y向上的电容 |
0.35 |
1.5 |
3.1 |
6.2 |
19 |
52 |
微法 |
±20 % |
其他 | ||||||||
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
尺寸 | 30 毫米× 30 毫米× 21.5 毫米 | 40 毫米× 40 毫米× 25 毫米 | 50 毫米× 50 毫米× 25 毫米 | 60 毫米× 60 毫米× 25 毫米 | 80 毫米× 80 毫米× 25 毫米 | 100 毫米× 100 毫米× 40 毫米 | ||
质量 | 0.195 | 0.295 | 0.348 | 0.43 | 0.7 | 1.37 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | CD版本：Sub -D 7W2（公头 ） CL版本：LEM O | CD版本：Sub -D 7W2（公头 ） CL版本：LEM O | CD版本：Sub -D 7W2（公头 ） CL版本：LEM O | CD版本：Sub -D 7W2（公头 ） CL版本：LEM O | CD版本：Sub -D 7W2（公头 ） CL版本：LEM O | CD版本：Sub -D 7W2（公头 ） CL版本：LEM O | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E- 663、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 663、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 663、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 663、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 663、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 663、E- 712、E-727 |
*带数字控制器。带模拟量控制器0.05 %。
**带数字控制器。带模拟量控制器0.08 %。下轴：X；上轴：Y。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
不带传感器的版本的订购编码为P-62x.20L；工作温度范围为-20至150 摄氏度；LEMO电压连接。
可提供真空达10-9 百帕的版本，订购编码为P-62x.2UD。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
P-62x.2CD/.2CL/.20L，尺寸单位为毫米