多轴压电陶瓷扫描仪
应用领域
§ 计量
§ 干涉测量
§ 光子学/集成光学
§ 平版印刷术
§ 纳米定位
§ 扫描显微镜
§ 样本对准
§ 微加工
P-517 • P-527
§ 2轴和3轴版本（XY和XYθZ型）
§ 行程达200 微米
§ 亚纳米级分辨率
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
P-517.2CL P-517.2CD | P-527.2CL P-527.2CD | P-517.3CL P-517.3CD | P-527.3CL P-527.3CD | P-517.RCD | P-527.RCD | 单位 | 公差 | |
主动轴 | X, Y | X, Y | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、θZ | X、Y、θZ | ||
运动和定位 | ||||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||
- 20至120伏时的开环行程 |
130 微米 |
250 微米 | X、Y：130 微米 Z：25 微米 | X、Y：250 微米 Z：25 微米 | X、Y：130 微米 θZ：±1.3 毫弧度 | X、Y：250 微米 θZ：±2.5 毫弧度 |
+20 % / - 0 % | |
行程，闭环 |
100 微米 |
200 微米 | X、Y：100 微米 Z：20 | X、Y：200 微米 Z：20 | X、Y：100 微米 θZ：±1 毫弧度 | X、Y：200 微米 θZ：±2 毫弧度 | ||
分辨率，开环 |
0.3 纳米 |
0.5 纳米 | X、Y：0.3 纳 米 Z：0.1 纳米 | X、Y：0.5纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：0.3 纳米 θZ：0.1 微弧度 | X、Y：0.5 纳米 θZ：0.1 微弧度 |
典型值 | |
分辨率，闭环 |
1 nm |
2 nm | X、Y：1纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：2纳米 Z：0.1 纳米 | X、Y：1 纳米 θZ：0.3微弧度 | X、Y：2 纳米 θZ：0.3微弧度 |
典型值 | |
线性误差 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | % | 典型值 |
重复精度 |
±5 纳米 |
±10 纳米 | X、Y：±5纳米 Z：±1 纳米 | X、Y：±10 纳米 Z：±1 纳米 | X、Y：±5 纳米 θZ：±0.5微弧度 | X、Y：±10 纳米 θZ：±1微弧度 |
典型值 | |
机械特性 | ||||||||
刚度 | 2 | 1 | X、Y：2 Z：15 | X、Y：1 Z：15 | 2 | 1 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率，空载 | 450 | 350 | X、Y：450 Z：1100 | X、Y：350 Z：1100 | X、Y：450 θZ：400 | X、Y：350 θZ：300 | 赫兹 | ±20 % |
带500 克负载时X、Y 向上的谐振频率 | 250 | 190 | 250 | 190 | 250 | 190 | 赫兹 | ±20 % |
带2500 克负载时X、Y 向上的谐振频率 | 140 | 110 | 140 | 110 | 140 | 110 | 赫兹 | ±20 % |
负载能力* | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 千克 | 最大 |
驱动特性 | ||||||||
压电陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 9.2 | 9.2 | X、Y：9 Z：6 | X、Y：9 Z：6 | 9 | 9 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 1.4 | 1.4 | 1.45 | 1.45 | 1.4 | 1.4 | 千克 | ±5 % |
P-517.2CL P-517.2CD | P-527.2CL P-527.2CD | P-517.3CL P-517.3CD | P-527.3CL P-527.3CD | P-517.RCD | P-527.RCD | 单位 | 公差 | |
传感器/电压连接 | CL版本：LEM O CD版本：Sub -D 25W3（公头 ） | CL版本：LEM O CD版本：Sub -D 25W3（公头 ） | CL版本：LEM O CD版本：Sub -D 25W3（公头 ） | CL版本：LEM O CD版本：Sub -D 25W3（公头 ） |
Sub- D25W3（公 头） |
Sub- D25W3（公 头） | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E- 621、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 621、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 621、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 621、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 621、E- 712、E-727 | E-503、E-505、E- 621、E- 712、E-727 |
* 水平安装时（立于表面上，非悬挂式）.
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
询问定制版本。