P-561 • P-562 • P-563
§并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
§ 行程达300 × 300 × 300微米
§ 电容式传感器带来最高线性度
§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
§ 优异的扫描平面度
§ 高动态XYZ版本
§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
§ 超高真空版本达10-9百帕
应用领域
§ 扫描显微镜
§ 掩模/晶圆定位
§ 干涉测量
§ 测量技术
§ 生物技术
§ 扫描和筛选
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
P-561.3CD P-561.3CL | P-562.3CD P-562.3CL | P-563.3CD P-563.3CL | P-561.3DD | 单位 | 公差 | |
PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统， 闭环行程 | 100 × 100 × 100 | 200 × 200 × 200 | 300 × 300 × 300 | 45 × 45 × 15，直接驱动 | 微米 | |
运动和定位 | ||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||
-20至120伏时的开环行程 | 150 × 150 × 150 | 300 × 300 × 300 | 340 × 340 × 340 | 58 × 58 × 18 | 微米 | +20 % / - 0 % |
分辨率，开环 | 0.2 | 0.4 | 0.5 | 0.1 | 纳米 | 典型值 |
分辨率，闭环 | 0.8 | 1 | 2 | 0.2 | 纳米 | 典型值 |
线性误差 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.01* | % | 典型值 |
X/Y/Z向上的重复精度 | 2 / 2 / 2 | 2 / 2 / 4 | 2 / 2 / 4 | 2 / 2 / 2 | 纳米 | 典型值 |
X、Y向上的螺距 | ±1 | ±2 | ±2 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的串扰（Z向运动） | ±15 | ±20 | ±25 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的偏转角 | ±6 | ±10 | ±10 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的平面度 | ±15 | ±20 | ±25 | ±10 | 纳米 | 典型值 |
X、Y向上的串扰（Z向运动） | ±30 | ±50 | ±50 | ±20 | 纳米 | 典型值 |
机械特性 | ||||||
X/Y/Z向上的空载谐振频率 | 190 / 190 / 380 | 160 / 160 / 315 | 140 / 140 / 250 | 920 / 920 / 1050 | 赫兹 | ±20 % |
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 | - | 145 / 145 / 275 | 120 / 120 / 215 | 860 / 860 / 950 | 赫兹 | ±20 % |
带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 | 140 / 140 / 300 | 130 / 130 / 195 | 110 / 110 / 170 | 500 / 500 / 470 | 赫兹 | ±20 % |
负载容量** | 5 | 5 | 5 | 5 | 千克 | 最大 |
驱动特性 | ||||||
压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 | PICMAZ向上的P- 885，XY向上的P- 888 | ||
X/Y/Z向上的电容 | 5.2 / 5.2 / 10.4 | 7.4 / 7.4 / 14.8 | 7.4 / 7.4 / 14.8 | 38 / 38 / 6 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C |
P-561.3CD P-561.3CL | P-562.3CD P-562.3CL | P-563.3CD P-563.3CL | P-561.3DD | 单位 | 公差 | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 1.45 | 1.45 | 1.45 | 1.55 | 千克 | ±5 % |
传感器/电压连接 | CD版本：Sub-D 25W3（公头）， 1.5米电缆 CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 25W3（公头）， 1.5米电缆 CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 25W3（公头）， 1.5米电缆 CL版本：LEMO | CD版本：Sub-D 25W3（公头）， 1.5米电缆 CL版本：LEMO | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E- 621、E-712、E- 727 | E-503、E-505、E- 621、E-712、E- 727 | E-503、E-505、E- 621、E-712、E- 727 | E-503、E-505、E- 621、E-712、E- 727 |
* 带数字式控制器。 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值。
** 水平安装时（立于表面上，非悬挂式）.
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
超殷钢和钛金属版本可供货。询问定制版本。
P-56x.3CD和P-56x.3CL，尺寸单位为毫米
P-561.3DD，尺寸单位为毫米
P-562.3CD的响应行为：X、Y、Z向上的步进和稳定在10毫秒以内