具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT压电步进驱动器
N-565
§ 超高精度:最小位移为2纳米,直接测量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米
§ 长行程:13毫米、26毫米或52毫米
§ 关机后自锁:节约能量,减少热量产生
§ PiezoWalk技术带来长使用寿命和高可靠性
§ 紧凑型设计:宽为65毫米、高为20毫米
NEXACT参考级线性平台
带NEXACT PiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内实现纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。
PiezoWalk技术:高分辨率、低磨损
PiezoWalk技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理, PiezoWalk步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下,PiezoWalk步进驱动器自锁,不消耗能量,无热量产生。
带PIOne线性编码器用于直接位置测量
高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外,由于信号周期短、信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
应用领域
样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.
规格
运动 | N-565.160 | N-565.260 | N-565.360 | 单位 | 公差 |
主动轴 | X | X | X | ||
行程 | 13 | 26 | 52 | 毫米 | |
速度,闭环 | 10 | 10 | 10 | 毫米/秒 | 最大 |
系统分辨率 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 纳米 | |
双向重复性 | 12 | 12 | 12 | 纳米 | 典型值 |
单向重复精度 | ±5 | ±5 | ±5 | 纳米 | 典型值 |
直线度/平面度 | ±1 | ±1 | ±1.5 | 微米 | 典型值 |
螺距 | ±30 | ±40 | ±80 | 微弧度 | 典型值 |
偏转角 | ±30 | ±30 | ±30 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | N-565.160 | N-565.260 | N-565.360 | 单位 | 公差 |
Z向负载能力 | 20 | 20 | 20 | 牛 | 最大 |
总质量 | 0.3 | 0.4 | 0.6 | 千克 | ±5 % |
驱动特性 | N-565 | 单位 | 公差 |
驱动类型 | NEXACT压电陶瓷步进驱动器 | ||
推拉力 | 10 | 牛 | 最大 |
保持力(被动) | 10 | 牛 | 最小 |
定位 | N-565.x60 | 单位 | 公差 |
集成传感器 | PIOne增量线性编码器 | ||
测量原理 | 光学 | ||
测量方法 | 直接测量 | ||
传感器分辨率 | 0.5 | 纳米 | |
最小位移 | 2 | 纳米 | 典型值 |
单向重复精度 | ±5 | 纳米 | 典型值 |
双向重复性 | 12 | 纳米 | 典型值 |
参考点开关 | 光学 |
其他 | N-565.x60 | 单位 | 公差 |
工作温度范围 | 10 到 50 | °C | |
工作电压 | -10 到 45 | 伏 | |
材料 | 铝,阳极氧化致黑 | ||
电机连接器 | HD Sub-D 15针(公头) | ||
传感器连接器 | Sub-D 15(母头) | ||
推荐电控 | E-861.1A1 |
N-565平台系列取代LPS-65系列。
询问定制版本。
图纸/图片
P-565,尺寸单位是mm。N-565.160:a=75;b=70;c=80 N-565.260:a=100;b=100;c=110 N-565.360:a=150;b=150;c=160。