具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT压电步进驱动器

 

N-565图片2.png

§ 超高精度:最小位移2纳米,直接测PIOne编码器的分辨率为0.5纳米

§ 长行程:13毫米、26毫米或52毫米

§ 关机后自锁:节约能量,减少热量产生

§ PiezoWalk术带来长使用寿命和高可靠

§ 紧凑型设计:宽为65毫米、高20毫米

 


NEXACT参考级线性平台

NEXACT PiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内实现纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。


PiezoWalk术:高分辨率、低磨损

PiezoWalk术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理, PiezoWalk步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下,PiezoWalk驱动器自锁,不消耗能量,无热量产生。

 

PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外,由于信号周期短、信号质量高,PIOne编码器的线误差小于1 %PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。


应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

规格

 

N-565.160

N-565.260

N-565.360

单位

公差

动轴

X

X

X



行程

13

26

52

毫米


速度,闭环

10

10

10

毫米/

最大

统分辨率

0.5

0.5

0.5

纳米


双向重复性

12

12

12

纳米

典型

单向重复精度

±5

±5

±5

纳米

典型

线度/平面度

±1

±1

±1.5

微米

典型

螺距

±30

±40

±80

微弧度

典型

转角

±30

±30

±30

微弧度

典型

 

机械特性

N-565.160

N-565.260

N-565.360

单位

公差

Z负载能力

20

20

20

最大

总质量

0.3

0.4

0.6

千克

±5 %

 

驱动特性

N-565

单位

公差

驱动类型

NEXACT压电陶瓷步进驱动器



推拉力

10

最大

保持力(被动)

10

最小

 

定位

N-565.x60

单位

公差

集成传感器

PIOne增量线性编码器



测量原理

光学



测量方法

直接测量



传感器分辨率

0.5

纳米


最小位移

2

纳米

典型

单向重复精度

±5

纳米

典型

双向重复性

12

纳米

典型

参考点开关

光学



 

其他

N-565.x60

单位

公差

工作温度范

10 到 50

°C


工作电压

-10 到 45


材料

铝,阳极氧化致黑



电机连接器

HD Sub-D 15针(公头)



传感器连接器

Sub-D 15(母头)



推荐电控

E-861.1A1



 N-565平台系列取代LPS-65系列。

询问定制版本。


图纸/图片

 

1562135815934864.png


P-565,尺寸单位是mmN-565.160a=75b=70c=80 N-565.260a=100b=100c=110 N-565.360a=150b=150c=160