产品名：
OTFC-1800DBI
型 式：
1800DBI
产品参数：
| 产品名： | |
| OTFC-1800DBI | |
型 式： | |
| 1800DBI | |
产品参数： | |
| 真空室 | SUS304, |
| Ф1800×1900mm(H) | |
| 工件架 | Ф1600mm |
| 工件架转速 | 10rpm to 30rpm(可变) |
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A |
| 光学膜厚监控仪 | 波长范围：350nm to 1100nm |
| 反射式/透射式 | |
| 水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | 23cmRF离子源 |
| 排气系统 | 机械泵 |
| 2个扩散泵 | |
| Polycold（或2个冷凝泵） | |
| 性 能 | |
| 达到压力 | 7.0×10-5Pa以下 |
| 排气时间 | 20分 |
| （大气压～1.3×10-3Pa） | |
| 基板温度 | 最高：350℃ |
| 工作条件 | |
| 设备尺寸 | 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) |
| 电源 | 3相,200v,50/60Hz, |
| 约152KVA | |
| 水流量 | 180升/分以上 |
| 空气压力 | 0.5MPa以上 |
| 重量 | 约11000kg |