8MTL系列电动平移台采用三相无铁无刷伺服电机技术，可通过高精度，可重复性和低摩擦力实现零间隙运动。线性非接触式光学编码器可确保以亚纳米级的运动分辨率直接控制位置。氧化铝合金保证了高温稳定性，8MTL仪器的柔软性和优异的长周期运动学，无导向系统漂移。该平台占地面积小，可将其集成到高密度机器和狭小空间应用中，且可用于超净室和真空（高达10-3 Torr）应用。
8MTL1301-170
型号 | 8MTL1301-170-LEn1-025 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
行程 | 170 mm | |||
编码器类型 | Optical Encoder | |||
编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm |
编码器光栅周期 | 20 µm | |||
绝对精度: | ||||
校准前 | ±5 µm | |||
校准后 | ±1 µm | |||
双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | |||
双向重复精度(RMS) | ±0.10 µm | |||
最大速率(载重4kg) | <2000 mm/s | |||
载重(置于中心) | 30kg | |||
重量 | 4.1kg | |||
8MTL1401-300 型号 8MTL1401-300-LEn1-025 8MTL1401-300-LEn1-050 8MTL1401-300-LEn1-100 8MTL1401-300-LEn1-200 行程 300 mm 编码器类型 Optical Encoder 编码器分辨率 25 nm 50 nm 100 nm 200 nm 编码器光栅周期 20 µm 绝对精度: 校准前 ±5 µm 校准后 ±1 µm 双向重复精度(峰峰值) ±0.15 µm 双向重复精度(RMS) ±0.08 µm 最大速率(载重4kg) <2000 mm/s 载重(置于中心) 30kg 重量 6.75kg 8MTL165-300 型号 8MTL165-300-LEn1-025 8MTL165-300-LEn1-050 8MTL165-300-LEn1-100 8MTL165-300-LEn1-200 行程 300 mm 编码器类型 Optical Encoder 编码器分辨率 25 nm 50 nm 100 nm 200 nm 编码器光栅周期 20 µm 绝对精度 校准前 ±10 µm 校准后 ±1 µm 双向重复精度(峰峰值) ±0.5 µm 双向重复精度(RMS) ±0.24 µm 最大速率(载重4kg) <2000 mm/s 载重(置于中心) 50kg 重量 13.5kg 8MTL220 型号 8MTL220-400-LEn1 8MTL220-600-LEn1 行程 400 mm 600 mm 编码器类型 Optical Encoder 编码器分辨率 Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand) 编码器光栅周期 20 µm 绝对精度 校准前 ±10 µm ±12 µm 校准后 ±1 µm ±1 µm 双向重复精度(峰峰值) ±0.5 µm 双向重复精度(RMS) ±0.26 µm 最大速率(载重4kg) <2000 mm/s 载重(置于中心) 100kg 重量 37kg 46kg
8MTL120XY
型号 | 8MTL120XY-LEn1-025 | 8MTL120XY-LEn1-050 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200 | |
行程 | 120 x 120 mm | ||||
编码器类型 | Optical Encoder | ||||
编码器分辨率 | 25 nm | 50 nm | 100 nm | 200 nm | |
编码器光栅周期 | 20 µm | ||||
绝对精度 | 校准前 | ±4 µm | |||
校准后 | ±0.5 µm | ||||
双向重复精度(峰峰值) | ±0.15 µm | ||||
双向重复精度(RMS) | ±0.10 µm | ||||
最大速率(载重4kg) | <1000 mm/s | ||||
载重(置于中心) | 30kg | ||||
尺寸 | 240 x 360 x 75 mm | ||||
重量 | 12.5kg | ||||
8MTLF250XY
型号 | 8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1 | 8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1 | 8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1 | 8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1 | |
行程 | 250 x 250 mm | ||||
编码器类型 | Optical Encoder | ||||
编码器分辨率 | Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand) | ||||
编码器光栅周期 | 20 µm | ||||
绝对精度 | 校准前 | ±5 µm | ±6 µm | ||
校准后 | ±1.5 µm | ±2 µm | |||
双向重复精度(峰峰值) | ±0.25 µm | ±0.5 µm | |||
双向重复精度(RMS) | ±0.15 µm | ±0.3 µm | |||
发动机数量 | 4 | 3 | 2 | ||
最大速率(载重4kg) | <1500 mm/s | ||||
载重(置于中心) | 30kg | ||||
尺寸 | 746 x 746 x 106 mm | ||||
重量 | ~ 68 kg | ||||